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            双频激光干涉仪

            LH1000双频激光干涉仪

            产品描述:

            光刻机专用双频激光干涉仪
            可构建XY位移台等多轴测量系统
            全球独家采用直接输出线偏振光、大功率、大频差双频激光器
            无圆偏振光转线偏振光非线性误差
            大功率可同时测量更多数量的轴向位移
            大频差,测量速度更快

            服务热线:4008168900
            立即咨询

            专为光刻机配套开发的高精度测量系统;

            通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。

            采用全球唯一能直接输出线偏振光的双频激光器;

            全球最低非线性高精密测量系统,测量更精准;

            可提供1~20MHz频差内任意频差产品,满足各种测量速度需要。

            光源和测量信号接收单元分体式设计,方便搭建XY位移台等多轴测量系统;

            精巧的测量信号光纤接收头,即使空间狭小也能方便安装;

            标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口,可直接替换现有产品。



            型号

            频差(MHz)

            最小出光功率(μW)

            光斑尺寸(mm)

            稳频精度(ppm)

            LH1000A

            1.0±0.5

            >500

            6

            ±0.02

            LH1000B

            2.0±0.5

            > 500

            6

            ±0.02

            LH1000C

            3.0±0.5

            > 500

            3, 6, 9

            ±0.02

            LH1000D

            4.0±0.5

            >500

            6, 9

            ±0.02

            LH1000DL

            5.0±0.5

            > 500

            6, 9

            ±0.02

            LH1000EL

            6.0±0.5

            >500

            6

            ±0.02

            LH1000FL

            7.0±0.5

            >500

            6, 9

            ±0.02

            LH1000GL

            8.0±0.5

            > 500

            9

            ±0.02

            LH1000H

            9.0±0.5

            > 500

            3, 6, 9

            ±0.02

            LH1000I

            10.0-20.0(按需定制)

            > 500

            3, 6, 9

            ±0.02

            注:可根据需求定制更小频差范围。

            微信截图_20210616121113.png

             


            恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

            LH1000双频激光干涉仪应用于尼康光刻机后,其工作台精度由原来的23nm提高到6nm!

            图片1.jpg


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