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            双频激光干涉仪

            LH2000双频激光干涉仪

            产品描述:

            专为计量检测用户打造的高精度双频激光干涉仪
            性能卓越的高精度线性位移、长度检测标定工具

            服务热线:4008168900
            立即咨询

                满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;

                以光刻机用激光干涉测量系统为基础,

                在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时,

                将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里,

                一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验;

                典型频差7±0.5 MHz,测速高达2m/s。

             系统组成:
                 LH2000激光测头及附件
                 环境补偿单元
                 LaserLC测量软件
                 线性位移测量镜组(选配:角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等)
                 光学调整附件
                 三脚架及其他测量附件
             

            (欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异,请阅览本网站解决方案栏目中的:双频激光干涉仪




            激光头尺寸330mm×110mm×95mm
            激光头重量3.3kg
            激光光束直径6mm
            激光功率 >0.5mw
            真空波长632.99nm
            频差可定制 典型值7±0.5 MHz
            工作温度范围+10℃~+30℃
            储存温度范围+15℃~+45℃
            激光稳频精度±0.02ppm
            线性测量范围40m
            线性测量精度±0.1ppm(真空中)
            ±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)
            分辨率1nm
            测量速度2m/s
            工作电源220V/50Hz



            恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。


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            LH2000用于三坐标机校准

            LH2000用于数控机床校准

             

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